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CVD反應爐的種類

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CVD反應爐的種類

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技術資料中心
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發布時間:
2019/11/11 16:10
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CVD反應爐的種類有以下幾種:

1,熱絲 Hot Filament

2,直流電弧噴射 DC Arc Jet

3,微波等離子 Microwave Plasma

 

     前二種適合生長多晶薄膜。微波分為2.45GHz0.915GHz兩種頻率, 后者可以做到數十到百KW的功率,其托盤直徑可達4-6英寸,較前者的生產效率(6KW,2英寸)高很多,大型設備是未來CVD爐的趨勢。

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